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学术动态

中国科学院微电子研究所陈宝钦研究员来校讲学

时间:2016-10-21 来源:电子信息工程学院 供稿: 审稿: 浏览: 字体:

10月19日,应电子信息工程学院邀请,中国科学院微电子研究所陈宝钦研究员为我校师生作了一场题为《微纳光刻技术发展与展望》的学术报告。

陈宝钦研究员结合当前国家对集成电路的推动政策及集成电路发展所面临的机遇与挑战,阐述了微光刻技术在集成电路发展中的重要作用。详细介绍了微光刻技术与电子束光刻技术的发展历程与现状,讨论了在纳米级高分辨微图形转移等方面所面临的挑战以及需要对应解决的图形数据处理、图形曝光和图形刻蚀等关键技术问题。另外陈老师还结合自己的成长经历、学习经历及工作经历告诉大家一个道理“能做好每一件简单的事情,就是不简单;能做好每一件平凡的事情,就是不平凡”,勉励大家脚踏实地,勤奋学习。陈老师对科研工作的不懈追求与精益求精的匠人精神感染了在场的每位师生,报告得到了与会师生的热烈反响,纷纷表示受益匪浅。

陈宝钦研究员1966年9月毕业于北京大学物理系半导体专业,中国科学院微电子研究所工作,兼职中国科学院研究生院教授,中国电子学会高级会员,北京半导体专业委员会委员、制版分会主任,全国半导体设备与材料标准化技术委员会副主任委员、微光刻分委会主任委员,全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术工作组副秘书长,光学微细加工国家重点实验室学术委员会副主任委员。


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