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学术动态

电信学院邀请“千人计划”特聘专家史小平来校讲学

时间:2016-11-24 来源:电子信息工程学院 供稿: 审稿: 浏览: 字体:

11月23日,应电子信息工程学院微电子学系邀请,“千人计划”特聘专家史小平博士为我校师生作了一场题为“半导体装备发展与展望”的学术报告。报告会由微电子学系主任张静老师主持。

史小平博士以我国半导体产业的需求与产能为背景,介绍了半导体产业及半导体装备的全球化分布,详述了我国半导体装备的发展现状,并结合其目前所主持的重大专项ALD设备的研发,为同学们讲解了集成电路工艺的流程及关键技术。并鼓励同学们在大学阶段打好扎实的基础,培养科学探索精神,为我国半导体产业的发展贡献力量。史小平博士的报告受到了广大师生的热烈欢迎,报告会结束后,史小平博士就师生的提问进行了详细的解答。

史小平博士2015年入选国家“千人计划”特聘专家,目前任职于北方华创电子股份有限公司,担任IC设备分公司副总经理,主持国家科技重大专项ALD设备的研发及市场化。史小平博士是业界公认的半导体薄膜材料方面的技术专家。在氧化、CVD、ALD等领域具有丰富的研发经验。他参与并领导了多个半导体新材料的研发与应用推广,研究结果覆盖了从130nm到10nm等多个CMOS器件技术节点,研究成果具有重要国际影响。在各类国际顶级期刊和会议发表70余篇学术论文,多次受邀在国际学术会议上作报告。同时担任多个国际会议的专家委员会成员,受邀担任多个国际期刊杂志的评审人及编辑。


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